1. 有機廢氣處理設備污染物質濃度水平

　　待處理有機廢氣的有機物濃度是影響選擇廢氣處理系統的主要因素。直燃式氧化器能夠處理較大濃度范圍的碳氫化合物，從十億分之一的濃度水平到純碳氫化合物蒸氣。如果有機廢氣濃度超過25%，特別考慮要執行措施來防止從氧化器到廢氣來源的回火。這種能處理大濃度范圍的彈性能力的代價是這種形式氧化器的高燃料成本。

　　蓄熱式和熱回收式的氧化器都限制被處理有機廢氣的濃度要低于25%，對于蓄熱式系統，此限制是由于存在熱失控的風險。對于熱回收式系統，是怕熱回收器被損壞。解決方法可以是往有機廢氣中摻入空氣以降低濃度或做更多的熱回收。

　　2. 有機廢氣的排放流量

　　如果待處理有機廢氣的流量是在5000Nm3/h以下，蓄熱式系統(RTO)大體來說是不適用的。這是因為與熱回收式焚燒系統來比較，蓄熱式氧化器(RTO)的較高成本大體上是不足以抵消它在節省燃料和電力消耗所帶來的好處。流量大于5000Nm3/h時，熱回收熱力焚燒系統有嚴重的經濟缺點，這是因為會產生非常高的燃料費用。然而，如果工藝需要大量的熱能時，二級的熱回收鍋可以用來抵消高昂的燃料費用，另一個是每年很少運作，需處理大流量廢氣的應急系統。

　　3. 有機廢氣處理設備有機廢氣的排氣溫度

　　如果待處理有機廢氣的溫度300℃以上時，是不適合采用蓄熱式系統(RTO)的，這是因為高溫的待處理有機廢氣會大大降低換向閥的可靠性和壽命;另外，在這樣高的溫度時，建造RTO的高成本也不足以抵消在節省燃料和電力消耗所帶來的好處。如果待處理有機廢氣的溫度超過500℃時，采用熱力回收式焚燒系統不如采用直接式焚燒系統，因為在燃料消耗的差距太小，不足以抵消增加的熱回收器帶來的投資成本。

　　4. 污染物質的類型

　　當有機廢氣中含有高濃度的可轉化有機酸的物質(如氯，氟，硫和鹵素)時要特別小心，他們會對設備造成嚴重的腐蝕或令催化劑中毒。

　　5. 微粒散發的水平

　　當有機廢氣中含有微小顆粒時特別小心。例如，當廢氣中含有油狀顆粒時，他們會聚集在管道和氧化器比較冷的部位，這個設備就需要經常清理。